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菲希爾熒光射線測厚儀XDL230信息
點擊次數(shù):204 更新時間:2025-05-10 打印本頁面 返回

菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDL230元素與鍍層測量

  1. 元素測量范圍:Cl(17)--U(92),最多可測量 24 種元素 23 層鍍層。

  1. 手動 X/Y 平臺:移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm。

  1. 電動 Z 軸:支持手動 / 自動聚焦,可移動范圍≥140mm。

  1. DCM 測量距離補償法:可遠距離對焦測量腔體樣品,可達 80mm 深度。

  1. 可變高壓:滿足 30KV、40KV、50KV 三種可調(diào)節(jié),以適應(yīng)不同測試需求。

  2. 準直器:配備 φ0.3 的圓形準直器。

  3. 測量誤差:當鍍層厚度≥0.5um 時,頂層鍍層測量精度≤5%。

  4. 基本參數(shù)法:內(nèi)置 12 純元素頻譜庫,可實現(xiàn)無標準片校準情況下測量。

  5. MQ 值顯示:用于判定測量程式是否與樣品匹配,避免誤操作。

  6. 標準片:配備 12 種基準純元素(Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr)。


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