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菲希爾熒光射線(xiàn)測(cè)厚儀XDL230信息
點(diǎn)擊次數(shù):128 更新時(shí)間:2025-05-10 打印本頁(yè)面 返回

菲希爾X射線(xiàn)測(cè)厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDL230元素與鍍層測(cè)量

  1. 元素測(cè)量范圍:Cl(17)--U(92),最多可測(cè)量 24 種元素 23 層鍍層。

  1. 手動(dòng) X/Y 平臺(tái):移動(dòng)范圍≥95x150mm,可用工作臺(tái)面≥420x450mm。

  1. 電動(dòng) Z 軸:支持手動(dòng) / 自動(dòng)聚焦,可移動(dòng)范圍≥140mm。

  1. DCM 測(cè)量距離補(bǔ)償法:可遠(yuǎn)距離對(duì)焦測(cè)量腔體樣品,可達(dá) 80mm 深度。

  1. 可變高壓:滿(mǎn)足 30KV、40KV、50KV 三種可調(diào)節(jié),以適應(yīng)不同測(cè)試需求。

  2. 準(zhǔn)直器:配備 φ0.3 的圓形準(zhǔn)直器。

  3. 測(cè)量誤差:當(dāng)鍍層厚度≥0.5um 時(shí),頂層鍍層測(cè)量精度≤5%。

  4. 基本參數(shù)法:內(nèi)置 12 純?cè)仡l譜庫(kù),可實(shí)現(xiàn)無(wú)標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)情況下測(cè)量。

  5. MQ 值顯示:用于判定測(cè)量程式是否與樣品匹配,避免誤操作。

  6. 標(biāo)準(zhǔn)片:配備 12 種基準(zhǔn)純?cè)兀ˋg,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr)。


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